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1.1基本功能 双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
1.2仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。
2.3特征：1：带双电测PC软件，可以保存、统计分析、和打印数据。2：USB通讯接口方便快捷，:3： 8档位宽量程 4:小型化、手动/自动一体化，可以脱机单独操作。
二、基本技术参数
2.1 测量范围
电阻率：1³10-4～2³105 Ω-cm，分辨率：1³10-5～1³102 Ω-cm
方 阻：5³10-4～1³106 Ω/□，分辨率：5³10-5～1³102 Ω/□
电 阻：1³10-5～2³105 Ω ，分辨率：1³10-6～1³102 Ω
2.2 材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)
直 径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限
SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm³180mm，手持方式不限.
长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可
2.3 量程划分及误差等级
满度显示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00
常规量程 kΩ-cm/□ kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
基本误差 ±2%FSB±4LSB ±1.5%FSB±4LSB ±0.5%FSB±2LSB ±1.0%FSB±4LSB
2.4 四探针探头
(1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调
(2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调
2.5 电源
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
2.6 外形尺寸：
主机 约 220mm（长）³245 mm（宽）³100mm（高）
专用数据处理终端，软件硬盘固化。
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